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Sony®レーザスケールを使用した、サブナノの高速制御

Sony<sup>®</sup>レーザスケール<sup>™</sup>を使用した、サブナノの高速制御
ACS Motion Control社は、ソニー・マニュファクチュアリング・システムズのレーザスケールに最適なアナログSin/Cosエンコーダ用のインタポーレータ(マルチプライヤ)を開発、サブナノメータの位置制御を可能にしている。
標準のマルチプライヤの場合、分解能は65,536で250KHzのものが用意されている。
高速マルチプライヤの場合、最高で8,192分割が可能で、速度も3MHzと高い周波数を可能にしており、ソニー・マニュファクチュアリング・システムズ製のBL57(400nmピッチ)との接続が推奨される。

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下に示されたものは400nmのSin波をマルチプライヤの分解能を1024で分割したものの実測データで、1ビットあたり0.39nmに相当する。
従って、位置精度としては1ビット分の0.39nmの精度でジッタを押さえた制御が行われていることになる。

下に示されたものは400nmのSin波をマルチプライヤの分解能を8192で分割したものの実測データで、1ビットあたり0.049nmに相当する。
従って、位置精度としては1ビット分x7の0.34nmの精度でジッタを押さえた制御が行われていることになる。

また、制御のスピードを示すセットリングタイムは下図に示されるように、±10nm以内の場合は
5m秒、;±8nm以内に納める場合には13m秒と非常に高速である。

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