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サーボドライバ制御例

アナログSin/Cosエンコーダ対応のサーボアンプ

アナログSin/Cosエンコーダ対応のサーボアンプ
コプレイ社のXenusシリーズ、AccelnetパネルシリーズのサーボアンプはSin/Cosエンコーダ(1Vp-p)からのアナログ信号をフィードバック信号として取り扱えるようになっている。

Sin/Cos信号の一周期のピッチの1/4が分解能になり、それを最大1024分割することができる。
たとえば20μmをSin/Cosの一周期とするエンコーダから、20μm/4=5μm、5μm/1024=0.00488μmの位置情報を検出することができる。
また、取り込んだアナログSin/Cos信号はアンプ内部でインクリメンタル信号に変換され上位のコントローラなどへ出力することができる。
アナログSin/Cos信号の入力周波数は最大230kHzまでで、インクリメンタル信号の出力周波数は最大18MHz(4逓倍後)即ち4逓倍前では4.5MHzである。

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